HFM 301 / HFC 303
25 slm ~ 1,000 slm · 1.87 kg/hr ~ 75 kg/hr
Full Metal Body, 빠른 응답 속도, 낮은 유량 유실
Full Metal Body의 HFM 301 / HFC 303는 0 ~ 25 slm(0 ~ 1.87 kg/hr)에서 1,000 slm(75 kg/hr)까지 Teledyne Hastings의 금속 실링과 빠른 응답 속도를 자랑하는 시리즈로 신뢰성과 안정성을 특징으로 광범위한 조건에서 빠른 응답을 위한 OEM 고객들이 선호합니다.
스테인레스강 재질로 다양한 부식성 가스에도 적합하며, 1000psig 정도의 압력에서도 견딜 수 있고 아날로그 Output을 지원합니다.

HFM 301 / HFC 303 카탈로그 (PDF) · HFM 301 / HFC 303 매뉴얼 (PDF)
±(1% of full scale) 정확도
열식 질량 유량계를 직접 디자인한 Teledyne Hastings 사의 제품을 사용해보세요.
빠른 기술지원으로 편리한 사용을 보장하며 여러분의 연구/생산 효율을 높이기 위해 각각의 응용분야에 맞춰 함께 연구하고 노력합니다.
고객의 산소 및 여러 가스 관련 응용분야에 사용할 경우 요청시 적합한 검사 후 출고됩니다.
Applications and Industries
- Leak Testing
- Flame Spray
- Gas Blending
- Semiconductor Process
- Thin Film Deposition

사양
원문 사양 확인: 본문 최대 범위는 1,000 slm이지만 원본 표의 고유량(H) 범위는 ‘0-500 slm to 0-100 slm’으로 표시되어 있습니다. 본문과 표의 수치를 그대로 보존했으며, 제품 선정 전 카탈로그와 제조사 확인이 필요합니다.
| 항목 | HFM-301 Meter | HFC-303 Controller |
|---|---|---|
| Range (User Selectable) | (L): 0-25 slm to 0-500 slm (N2) (H): 0-500 slm to 0-100 slm (N2) | (L): 0-25 slm to 0-500 slm (N2) (H): 0-500 slm to 0-100 slm (N2) |
| Accuracy | ±1% of full scale | ±1% of full scale |
| Repeatability | ±0.07% of full scale | ±0.07% of full scale |
| Maximum Working Pressure | 500 PSIG (Optional 1,500 PSIG) | 500 PSIG (Optional 1,000 PSIG) |
| Analog I/O (Standard) | 0-5 VDC | 0-5 VDC |
| Analog I/O (Optional) | 4-20 mA I/O, 0-20 mA, 0-5 VDC / 4-20 mA I/O | 4-20 mA I/O, 0-20 mA, 0-5 VDC / 4-20 mA I/O |
| Seals | Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene | Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene |
| Fitting Options | Surface Mount, VCR®, VCO®, Swagelok®, Straight Thread, NPT | VCR®, VCO®, Swagelok®, Straight Thread, NPT |
| Connector | 15-pin subminiature D | 15-pin subminiature D |
| Power Requirements | ±15 VDC @ 55 mA | ±15 VDC @ 150 mA |
| Wetted Materials | 316L SS, Nickel 200, 302 SS | 316L SS, Nickel 200, 302 SS, Kalrez® (Valve Seat) |