HVG-2020B
이 작은 제품에 Piezo 센서와 Pirani 센서가 동시에
컴팩트하고 사용하기 편한 HVG-2020B 제품은 듀얼 센서 방식으로 Piezo 방식과 Pirani 방식의 2가지 센서를 함께 사용하기 때문에 1000 Torr(133,322.3 Pa)에서 0.1 mTorr(0.1333 Pa) 미만의 매우 넓은 범위에서 안정적이고 정확한 측정을 제공합니다.
HVG-2020B는 매우 간편하게 설치 할수 있습니다.
전면 Touch Display는 다양한 Views와 작동 옵션을 제공 합니다.
가스 접촉부는 스테인레스 스틸 제질로 되어 있으며 다양한 현장상황에 적합한 Analog / Digital output를 제공하고 있으며, Linear한 analog output을 제공하고 있기에, 고가의 Capacitance Manometers보다 경제적입니다.
HVG-2020B는 고급 압력 저항센서를 기반으로 진동막에 가스에 의해 좌우되는 힘을 감지해 압력과 압전 재료 변화의 저항값을 측정하기 때문에 가스 성분이 바뀌어도 보정 작업 없이 측정이 가능합니다.
Applications and Industries
- Semiconductor Etch
- Sputtering Chamber
- Load Lock Systems
- Process Control and Test
- Plasma Coating
